Nikon 4S587-005控制模块

Nikon 4S587-005这其实是 Queensgate NS2300/A 位置传感器单元在 Nikon 光刻机里的备件号不是普通控制模块。它装在 Nikon NSR 系列步进扫描光刻机上负责精密位置反馈。产品特点Queensgate NS2300/A 三通道位置传感器单元Nikon 原厂备件号 4S587-005用于 Nikon NSR 系列光刻机的精密位置检测配合 SDL扫描/对准系统工作三通道设计可同时处理多轴位置信号常见于 NSR-S307E、NSR-S205C 等机型二手市场有拆机件流通固态传感器方案工业级可靠性产品参数制造商Queensgate Instruments型号NS2300/ANikon 备件号4S587-005类型位置传感器单元三通道输入±15VDC325mA适配机型Nikon NSR 系列如 S307E、S205C应用领域Nikon NSR 系列光刻机的位置反馈控制半导体光刻工艺的精密对准与扫描老旧 Nikon 光刻机台的备件替换二手半导体设备的拆机件流通这台 Nikon 4S587-005 就是 Queensgate NS2300/A 传感器在 Nikon 光刻机里的身份三通道位置检测NSR 系列机台上干精密活用的拆机件还能找到。