MKS 925-11004-0087 传感器

MKS 925-11004-0087 是一款基于MEMS技术的紧凑型皮拉尼真空传感器凭借其高精度、宽量程和坚固设计在工业真空测量中表现优异。以下是该型号的核心特点与应用领域产品特点采用MEMS微机电系统技术基于热导率原理进行真空测量。测量范围宽从1.0×10⁻⁵ Torr 至大气压。无对流效应设计可任意方向安装不影响精度。固态结构坚固抗振动、耐大气冲击不易损坏。提供1~9 VDC模拟电压输出分辨率高。支持RS232、RS485数字通信便于数据读取与配置。可选配设定点继电器实现外部设备的自动控制与互锁。内置多种气体校准曲线可通过软件切换补偿气体类型差异。应用领域真空系统的基础压力监测。前级管道与粗抽阶段的真空测量。真空腔室的气体回填压力控制。质谱仪的真空环境监测与保障。超高真空规管的启动与低真空段信号参考。半导体制造工艺中的真空过程控制。工业镀膜与薄膜沉积设备中的压力监控。冷冻干燥、分析仪器及科研实验中的真空测量。结尾综上所述MKS 925-11004-0087 以其高集成度、灵活接口和可靠的固态性能成为从粗真空到高真空各类应用场景中值得信赖的压力测量解决方案。